PRODUCTS
SD Series
극한공정을 위한 SDX &
극초기 공정을 위한 SDT
- 수직 스크류 설계로 인해 매우 향상된 공정 내구성
- 세계적 수준의 컴팩트한 공간 활용
- 가혹한 공정에서도 낮은 전력 소비
- SEMI/CE/NRTL 기준 준수
- 매우 신뢰할 수 있는 설계
공정 내구성의 높은 수준의 우수성
- 수직 스크류 설계, 넓은 온도 변화 범위 및 새로운 히터 시스템 덕분에 더욱 강화된 공정 내구성
- 기존 모델에 비해 19,000 L/min 급의 45% 더 작은 공간 활용
- 극한 공정 적용 예시
Major Products
Kashiyama Dry Pumps
