PRODUCTS
MUP Series
“More than” Low Power
공정 내구성 / 소비전력 0.7Kw
- 공정 내구성에 뛰어난 저전력 펌프
- 경부하부터 Etching, CVD까지 다양한 용도로 사용가능
- HOT-N2 purge를 탑재한 MU-H시리즈
높은 수준의 에너지 효율성 및 프로세스 내구성
- 강도 및 에너지 절약
PVD*, 애싱, 산화물 에칭, 폴리 에칭과 같은 중간 공정에서 높은 운영 효율을 달성하기 위해 신뢰성이 높은 구조와 높은 에너지 절약 성능을 더욱 개선
(*= 금속-PVD 제외)
- 컴팩트한 성능
32% 작은 설치 공간: 기존 모델에 비해 19,000L/min
- 안정성 및 글로벌 표준
매우 안정적이고 SEMI / CE / NRTL 표준을 준수하도록 설계
Major Products
Kashiyama Dry Pumps
